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使用化学汽相沉积系统合成氧化矽奈米线的固-液-固机制讨论

王志遠  詹立雄  萧達慶  林天智  施漢章  
【摘要】:藉由分析觸媒及奈米线之結構舆組成。詳細探讨合成氧化矽奈米绕的固-液-固成長機制。舆一般化學汽相沉積法不同的是,矽的來源直接由矽基板提供固態矽源。首先在矽基板上濺鍍上一層很薄(~5nm)的白金觸煤層谏鹿讨?白金薄膜會分裂形成直徑為數百奈米大小的觸媒球。掃描式電子显微鏡及穿透式電子显微镜的分析結果显示,這些觸煤球的組成為Pt_3Si,并可作為奈米线成長的孕核點。在高达1100℃的制程温度及5h的持温之下,矽基板氧化成為氧化矽井藉由擴散溶解到觸煤球中,直到飽和點而后析出成為氧化矽的奈米线@些奈米线為非晶结構,直徑為40~60nm,長度為數百微米。

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