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一种高精度原子力显微镜的设计及应用

杨学恒  陈红兵  费德国  谢超  杨惠  
【摘要】:简述了重庆大学数理学院研制的AFM样机的工作原理和应用,较为详细地介绍了镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围。简单适用的微悬臂使操作大大简化。文章还给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图。

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