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硅电容加速度敏感器件的研制

张治国  罗抟翼  陈信琦  
【摘要】:正 加速度传感器能将加速度转换为电信号。本项目的主要目标是研制出实用化的高精度微硅加速度计用敏感器件。在硅加速度传感器的研制中采用了MEMS技术,这一技术通常指的是特征尺度大于1μm小于1mm,其主要原因是采用该技术可以实现批量化生产,而且器件的体积大幅度缩小,成本大幅度降低。

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12 ;2011中国仪器仪表与测控技术大会征文通知[J];电子测量技术;2011年07期
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2 娄仁杰;;大连石化分公司气体车间球罐区操作室仪器仪表雷电灾害治理[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策(下册)[C];2002年
3 ;前言[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
4 ;四川仪表十九厂[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
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10 ;前言[A];第二十三届中国(天津)2009IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2009年
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1 ;仪器仪表行业市场[N];机电商报;2005年
2 戈永;河北省仪器仪表学会成立[N];大众科技报;2009年
3 李典;河北省仪器仪表学会在我市成立[N];承德日报;2009年
4 王文琳 本报记者 张墨林;辽宁(丹东)仪器仪表产业基地暨辽宁仪器仪表学院奠基[N];丹东日报;2009年
5 陈杰;辽宁(丹东)仪器仪表产业基地奠基[N];中国高新技术产业导报;2009年
6 本报记者 杨蕾;仪器仪表行业正处于缓慢回升期[N];中国质量报;2009年
7 记者 郭津;我省有了国家级仪器仪表产业化基地[N];河南日报;2010年
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9 本报记者 李瞧;产销强劲增长 仪器仪表行业全年预增15%[N];中国工业报;2010年
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