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硅压力传感器设计中的灵敏度分析

徐淑霞  罗抟翼  程桂芬  
【摘要】:正 在硅压力传感器的设计中,如何在保证线性度指标的前提下,尽可能提高传感器输出灵敏度和高过载能力,一直是人们不断探索的问题。本文分析了在它的设计中影响输出信号灵敏度的多种因素,提出了在设计及工艺上提高灵敏度的有效方法。

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