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微波烧结高密度ITO靶材

杨军  彭虎  夏广斌  
【摘要】:通过XRD和SEM等手段研究了微波条件下气氛和温度对ITO靶材密度的影响。结果表明,与常规烧结方法相比,微波烧结能降低ITO靶材的烧结温度,大幅度缩短ITO靶材的烧结周期;在纯氧气氛下,1500℃微波烧结的ITO靶材相对密度达到99.2%,ITO靶材经过微波烧结后,组织均匀无气孔,不存在第二相,晶粒尺寸大致为3~4μm。

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