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正弦相位调制半导体激光自混合干涉微位移测量系统

郭冬梅  王鸣  
【摘要】:半导体激光器的"激光反馈干涉"即"激光自混合干涉"具有结构简单,光路易准直,无需附加器件的特点,因而能够发展成小型、在线测量和过程控制的传感器,测量微位移和微轮廓,在微机械、光学工程等领域具有广泛的应用前景。传统的自混合干涉信号用条纹计数法分析,对微位移、微轮廓的测量精度仅为λ/2。为将提高自混合干涉仪的测量精度,本文研究了自混合干涉信号的正弦调制解调方法,将测量精度提高至纳米量级。

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