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多孔探针研究进展综述

陈钦  符澄  陈吉明  
【摘要】:正简要总结近20年多孔探针的技术发展,对多孔探针的设计制造、探针干扰、校准、探针测试系统和应用进行综述,促进对多孔探针未来发展趋势的理解。

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