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钛酸锶瓷片超精密加工实验

白振伟  阎秋生  童和平  周旭光  
【摘要】:钛酸锶(SrTiO3)陶瓷作为一种新兴的多功能材料而得到广泛应用,它常用于电容器中作为介质基片,随着它的广泛应用,其基片的表面质量也要求越来越高。因此本文进行了钛酸锶瓷片的集群磁流变研磨-抛光加工研究来获得高质量钛酸锶瓷片加工表面,并探索了研磨-抛光超精密加工工艺参数及分析了加工表面的形貌特征。结果表明,集群磁流变研磨-抛光加工钛酸锶瓷片可以实现高效率超光滑加工,原始表面Ra1.0008μm研磨抛光60min后可以达到Ra0.0043μm下降三个数量级,微观表面光滑平整。选用SiO2磨料、磨料质量体积浓度0.1g/ml、研磨盘转速60rpm作为精密研磨的工艺参数,可以获得较光滑平整的加工表面;选用金刚石磨料、磨料质量体积浓度0.05g/ml、工件与抛光盘转速比4.16左右、加工间隙为1.4㎜作为最后的精抛工艺参数,可以获得高的效率和超光滑的加工表面。

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