新型大尺度矩形表面波等离子体的参数测量

【摘要】：正纵观国内外近期的研究,在大规模集成电路和液晶显示器的制造过程中,大尺度等离子体源成为必需;微电子器件制作工序的刻蚀、灰化和等离子体化学气相沉积等迫切需要空间均匀的、高密度及高活性化的等离子体源。此外,多晶硅薄膜、金刚石薄膜、碳纳米管等的生成,大尺度高密度等离子体源同样充当重要角色。在众多等离子体源中,平板型表面波等离子体(SWP)源是一种有希望同时满足以上苛刻要求的优良等离子体源。

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3	龙润生;龚学余;李圣;李志明;;等离子体共振表面波的分析[J];怀化学院学报(自然科学);2007年01期
4	吴文虬,吴宗森,魏荣爵;微波声学和微声器件的发展和应用[J];物理;1973年01期
5	田雨波;钱鉴;生佳根;;计算表面波特征方程的一种新的数值方法[J];电波科学学报;2006年06期
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10	朱秀芹;潘威炎;官伯然;;水平电偶极子在负折射媒质半空间激励的场[J];电波科学学报;2009年01期
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12	苗润才;李能能;高美玲;韩鹏斌;;液体表面波振幅与激发深度的关系[J];光子学报;2011年06期
13	陆栋;表面物理讲座第三讲表面振动[J];物理;1981年05期
14	苗润才;董军;祁建霞;李芳菊;;低频液体表面波衍射条纹的不对称性[J];光子学报;2006年12期
15	罗道斌;苗润才;刘香莲;朱峰;;低频液体表面波的光衍射及衰减特性的研究[J];激光技术;2007年06期
16	朱秀芹;潘威炎;官伯然;;垂直电偶极子在负折射媒质涂覆基底上产生的场[J];电波科学学报;2008年04期
17	陈政安;吕秀莲;刘聪;沈义峰;;李萨如图形法测浅水波波长[J];大学物理实验;2009年01期
18	朱秀芹;潘威炎;官伯然;;垂直电偶极子在负折射媒质中激起的场[J];电波科学学报;2006年02期
19	苗润才;朱峰;;激光衍射法测量液体薄膜厚度的研究[J];激光技术;2007年05期
20	孙宏祥;许伯强;王纪俊;徐桂东;徐晨光;王峰;;激光激发黏弹表面波有限元数值模拟[J];物理学报;2009年09期

中国重要会议论文全文数据库

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1	陈兆权;刘明海;胡业林;郑晓亮;李平;夏广庆;周启燕;胡希伟;;新型大尺度矩形表面波等离子体的参数测量[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
2	刘繁;汪建华;;矩形表面波等离子体源的数值模拟[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3	周桂蓉;冯宁宁;方大纲;;Davidenko方法在搜寻分层介质表面波极点中的应用[A];1999年全国微波毫米波会议论文集(上册)[C];1999年
4	刘明海;陈兆权;唐亮;胡鹏;江中和;胡希伟;菅井秀郎;;大面积均匀矩形表面波等离子体源的实验研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
5	党晓杰;梁昌洪;;左手媒质的全反射及表面波分析[A];2005'全国微波毫米波会议论文集（第二册）[C];2006年
6	孙冰;刘剑丽;浅香敏夫;;表面波等离子体特性的研究[A];第十二届全国微波能应用学术会议论文集[C];2005年
7	刘海;孙秀冬;;金属纳米线对中磁等离激元与电介质多层膜表面波耦合作用的研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
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9	梁昌洪;苏子剑;刘艳;;一种新型EBG结构的研究[3][A];2007年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2007年
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7	宋道红;光诱导光子晶格中涡旋光传播特性的研究[D];南开大学;2009年
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中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	徐杰;柱形表面波等离子体基本参数诊断研究[D];中国科学院研究生院（空间科学与应用研究中心）;2007年
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3	严巍;异向介质的理论研究[D];浙江大学;2007年
4	罗敏慧;超声无损探测中光致声波的原理及应用[D];电子科技大学;2007年
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7	罗子谦;二维光子晶体波导出射光集束及偏转的相关研究[D];浙江大学;2008年
8	徐立伟;亚波长金属槽缝结构奇异透射现象物理机制的研究[D];北京交通大学;2009年
9	祁建霞;液体表面波干涉条纹强度的非均匀分布及表面波的衰减效应[D];陕西师范大学;2006年
10	宋晓娜;多列液体表面波的衍射理论[D];陕西师范大学;2008年

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