MEMS结构的变形分析技术

【摘要】：随着微纳加工技术的发展,微机械系统(MEMS)或微器件在航空航天、军事及民用等领域得到了广泛应用并发挥着越来越重要的作用。一直以来,微结构或微设备的失效机理及优化设计等方面的研究受到了材料及力学领域研究人员的广泛关注。为了了解其力学性能、粘附失效、断裂破坏规律,就必须发展空间分辨率和灵敏度在微/纳米尺度内的变形测量技术。本文详细介绍了近年来作者与合作者发展的可运用于测量MEMS变形的几何相位分析法(GPA)、扫描电镜云纹法(SEM云纹法)、数字几何云纹法,以及微标记识别法。利用发展的方法,对MEMS结构的实时变形、粘附失效开展了相关研究,已获得的测试结果表明,上述方法可以很好的运用于MEMS器件的变形测量及粘附力估计,其位移测量灵敏度可达到微/纳米量级。下面简述这几种方法的原理。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	李安娜;压电材料微机测试系统[J];光电工程;1992年01期
2	;产品世界[J];传感器世界;2002年03期
3	焦正,吴明红;日本基于MEMS传感器的研究进展[J];传感器世界;2004年01期
4	孟宝文;王全收;;System Four数字传感器工作与测试原理分析[J];物探装备;2007年S1期
5	吴群,傅佳辉;MEMS射频与微波应用技术新进展[J];电子器件;2001年04期
6	田云辉,王世华,张涛,周肇飞;光干涉法测量微机械零件变形的研究[J];光电工程;2002年05期
7	于婷,周兆英,宋宇宁;基于微转换器的MEMS传感器研究平台[J];仪器仪表学报;2004年S1期
8	李芹;王国林;;基于计算机视觉技术的橡胶空气弹簧三维变形测量[J];橡胶工业;2008年07期
9	曾大富,刘建华,罗驰;MEMS传感器的真空密封技术[J];微电子学;2005年03期
10	唐;美国防卫高级研究规划局提出研究终极传感器—MEMS尘埃![J];电子对抗技术;1997年04期
11	邓俊泳,冯勇建;聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用[J];微纳电子技术;2003年04期
12	刘盛,刘家豪,傅建中,陈子辰;面向MEMS构件在线检测和三维外型测量的立体视觉系统[J];中国机械工程;2003年22期
13	霍鹏飞,苑伟政,马炳和;MEMS惯性传感器的系统级建模技术研究[J];西北工业大学学报;2004年04期
14	谢晖,孙立宁,荣伟彬,陈立国;MEMS微装配机器人系统的研究[J];机械与电子;2005年03期
15	;行业信息[J];传感器世界;2000年03期
16	金翠云,栗大超,冯亚林,靳世久,曾周末,郝一龙,张大成;基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
17	冯亚林,栗大超,金翠云,郝一龙,张大成,靳世久;基于计算机视觉的MEMS测试系统[J];微纳电子技术;2003年Z1期
18	佘跃心;袁启旺;;基于图像技术的桩周土位移场测量初步研究[J];建筑科学;2008年05期
19	蒋海涛;冯文光;刘诗斌;;基于MEMS器件的倾角指示系统研究[J];测控技术;2010年06期
20	;MEMS在医疗领域中的应用[J];传感器世界;1997年07期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘战伟;谢惠民;戴福隆;;MEMS结构的变形分析技术[A];中国科协第235次青年科学家论坛——极端复杂测试环境下实验力学的挑战与应对[C];2011年
2	陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3	张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
4	陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
5	高宗余;李德胜;王跃宗;;神经网络在MEMS磁罗盘误差校正中的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年
6	林日乐;满欣;周倩;李文蕴;谢佳维;张巧云;;石英MEMS陀螺[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
7	王磊;赵新;卢桂章;;参数化的MEMS器件可视化建模方法-虚拟组装[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
8	孙泉;齐敏;汤亮;王洛;乔东海;;差分电容MEMS加速度传感器仿真模型[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
9	邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
10	芮岳峰;杨春生;王亚军;刘景全;;基于Parylene的球形凸起微电极阵列的研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	陈华;基于数字散斑相关方法的视觉变形测量技术研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
2	王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
3	肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
4	李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
5	吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
6	杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
7	陈建军;基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究[D];华中科技大学;2010年
8	许立宁;基于MEMS技术的压电微喷的研制[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2005年
9	胡凯;MEMS微结构几何特征提取与评定的方法[D];华中科技大学;2011年
10	刘梦伟;基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究[D];大连理工大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
2	孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
3	赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
4	李世鹏;基于MEMS的抗磁微操纵研究[D];上海交通大学;2011年
5	柴旭朝;用于MEMS传感器的小电容读取技术的研究[D];江南大学;2011年
6	钟福如;硅电容式加速度传感器及其读出电路设计研究[D];电子科技大学;2005年
7	鞠鑫;微流体测控组件研究[D];黑龙江大学;2005年
8	赵晓霞;面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究[D];华东理工大学;2011年
9	黄慧锋;CMOS兼容湿度传感器封装的研究[D];东南大学;2005年
10	宗杨;MEMS中多孔硅的原电池法制备及绝热性能模拟[D];天津大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	本报记者冯健;磁传感器：与MEMS结合拓展导航市场[N];中国电子报;2010年
2	信息产业部电子科学技术情报研究所研究中心邱惠君;MEMS应用无“微”不至[N];中国电子报;2001年
3	本报记者赵艳秋;MEMS：软件算法是关键[N];中国电子报;2008年
4	马涛;智能手机推动MEMS传感器技术发展[N];人民邮电;2009年
5	刘文锗;6个自由度的ST运动感测MEMS模块[N];电子报;2011年
6	本报记者许泳;MEMS：越感知越火热[N];计算机世界;2010年
7	中国电子科技集团公司第四十九研究所徐泽善;新型传感器“尖兵”列阵[N];中国电子报;2002年
8	;提供双轴向传感器[N];电子资讯时报;2004年
9	本报记者马文方;MEMS：物联网核心技术所在(上)[N];中国计算机报;2010年
10	;新型传感器研发的重点领域[N];中国电子报;2002年

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