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热可塑镁基块状金属玻璃之微成型功能性研究

潘正堂  
【摘要】:正随著科技的发展,如微机电系统、显示器元件与生物医疗产品等,带动了微小化元件的需求量,使元件加工尺寸要求向下探至奈米等级。现今,光刻电铸模造技术(LIGA,译至德文Lithographie,Galvanoformung,and Abformung),乃一常见的微小化加工技术,可制

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