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智慧型CMOS-MEMS探针卡

黃榮堂  
【摘要】：正本研究利用标准CMOS制程技术设计县臂式探针结构。使用CMOS技术不但可以大幅缩小探针的尺寸,而且也有利于后制程的加工。更重要的是,一些连接外部元件的缐路,可以整合在所设计的CMOS制程中,因此可以增加佈缐的方便性,亦即探针卡所需要的空

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