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显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用

孙伟  何小元  
【摘要】:正鉴于三维形貌在微结构测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在微结构三维形貌测试中的应用研究。基于小波变换极高的去噪性能及处理无载波条纹的优点,包裹相位采用连续小波变换的方法提取。基于展开相位拐点与符号歧义点的单应性,开展了通过检测展开相位拐点并对展

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