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接触式静电微开关动力学分析

李浩群  陈丽华  
【摘要】:正近年来,静电驱动接触式微开关在微机电系统(MEMS)的很多邻域都有着广泛的应用,如功率传送,信号发射和通信等等。一般来说,接触式继电器设计的关键在于其是否具有响应快速、吸合电压低、回弹少,接触力充分和断开时振动小等特性。静电驱动微开关电极间常采用阶跃函数电压,其动态响应既受非线性静电力

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