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多场耦合下纳米尺度薄膜力学性能的研究

王世斌  李林安  亢一澜  贾海坤  张世杰  
【摘要】:正利用对称磁致伸缩材料,开发出了新一代薄膜压缩力学性能测试系统,在AFM和光学显微镜下实现了对纳米尺度薄膜的对中受压加载与测试。通过标准样品比对实验和加载系统结构的有限元分析表明:该系统加载稳定,夹持端的位移控制精度优于300nm,中心偏

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