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辅源气体含量的改变对双离子束溅射沉积制备的硼碳氮薄膜性质的影响

杨旭敏  吴雪梅  诸葛兰剑  
【摘要】:正B-C-N相的特殊性质引起了人们浓厚的兴趣,以高纯B_4C(99.99%)靶所制备的BCN薄膜由于具有优异的力学性质和耐磨性,可望在某些领域替代类金刚石膜(DLC)。BCN薄膜的制备方法很多,如化学气相沉积及物理气相沉积等。

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