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微波ECR等离子体化学气相沉积GaN薄膜的特性研究

符斯列  陈俊芳  
【摘要】:正作为第三代半导体材料的GaN基蓝光薄膜材料,由于其宽禁带、高亮度、低能耗,并因其和红光、绿光一起构成白光的三基色,在平板显示、光存储、蓝光激光器和功率晶体管等光电子领域将发挥广泛的应用。并成为半导体光电材料工业的主流材料。

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