收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ar/H_2/SiCl_4大气压射频等离子体射流的光谱诊断

刘莉莹  张家良  郭卿超  王德真  
【摘要】:正多晶硅薄膜太阳能电池所用多晶硅薄膜的沉积工艺备受关注。以SiCl_4和H_2为反应气体,Ar为载气,利用大气压射频等离子体射流辅助沉积多晶硅薄膜是一种崭新的方法。科学地诊断用于沉积薄膜的等离子体参数可以为沉积工作提供有力的支持。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 潘文霞,孟显,吴承康;直流纯氩层流等离子体射流的长度变化[J];工程热物理学报;2005年04期
2 赵文华,唐皇哉,田阔,张冠忠;存在空气卷吸时等离子体射流光谱诊断应做的修正[J];光谱学与光谱分析;2004年04期
3 ;实验三则[J];物理通报;1995年02期
4 王艳辉,王德真;大气压下多脉冲均匀介质阻挡放电的研究[J];物理学报;2005年03期
5 刘东尧,周彦煌,余永刚;爆炸等离子体射流在液体中扩展过程实验研究[J];弹道学报;2004年02期
6 朱海龙;任春生;吕晓桂;聂秋月;王德真;马腾才;;纳秒脉冲等离子体射流的产生及其特征研究[J];核聚变与等离子体物理;2010年02期
7 霍明学,刘晓为,张丹,王喜莲,宋明浩;多晶硅薄膜的高温压阻效应[J];半导体学报;2005年11期
8 谌康;何艾华;夏民荣;马志斌;;常压微波等离子体射流实验装置[J];大学物理实验;2008年03期
9 罗云荣;羊亿;彭星煜;李广;;印刷法制备多晶硅薄膜[J];邵阳学院学报(自然科学版);2009年01期
10 严建华;屠昕;马增益;潘新潮;岑可法;Cheron Bruno;;大气压直流氩等离子体射流工作特性研究[J];物理学报;2006年07期
11 屠昕;严建华;马增益;李晓东;潘新潮;岑可法;CHERON Bruno;;基于N_2~+(B~2∑_u~+→X~2∑_g~+)的电弧等离子体振动温度和转动温度测量[J];光谱学与光谱分析;2006年12期
12 罗翀;孟志国;王烁;熊绍珍;;溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜[J];物理学报;2009年09期
13 魏希文,张兆文,王美田;温度对多晶硅薄膜迁移率的影响[J];大连理工大学学报;1986年01期
14 黄信凡;鲍希茂;沈富德;陶芳;陈坚;;激光再结晶多晶硅/二氧化硅界面性质的测定[J];南京大学学报(自然科学版);1987年02期
15 陈一匡,林揆训,罗志,梁锐生,周甫方;铝诱导非晶硅薄膜的场致低温快速晶化及其结构表征[J];物理学报;2004年02期
16 林璇英,黄创君,林揆训,余运鹏,余楚迎,黄锐;用SiCl_4-H_2低温沉积多晶硅薄膜微结构的Raman分析[J];物理学报;2004年05期
17 刘丽娟;罗以琳;林璇英;;SiCl_4/H_2为气源低温沉积多晶硅薄膜光电特性的研究[J];材料研究与应用;2008年04期
18 刘丽娟;罗以琳;黄锐;林璇英;;SiCl_4/H_2为气源低温沉积多晶硅薄膜低温电学特性的研究[J];功能材料;2007年06期
19 韩隆恒,岳斌,杨富荣;低压电弧加热射流热力学非平衡现象的实验研究[J];工程热物理学报;1995年03期
20 祝祖送,林璇英,余云鹏,林揆训,邱桂明,黄锐,余楚迎;用SiCl_4/H_2气源沉积多晶硅薄膜光照稳定性的研究[J];物理学报;2005年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘莉莹;张家良;郭卿超;王德真;;Ar/H_2/SiCl_4大气压射频等离子体射流的光谱诊断[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 冯岩;任春生;王德真;;大气压下大尺度的等离子体射流的实验研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3 范倩倩;钱沐杨;任春生;;单电极结构产生的大气压冷等离子体射流阵列的放电特性[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
4 李果;王森;乐沛思;李和平;包成玉;;大气压射频辉光放电氩等离子体射流的光谱特性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
5 任春生;王德真;钱牧扬;;高化学活性大气压低温等离子体射流及其在表面有机物脱除中的应用[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
6 熊青;卢新培;邹菲;胡静;鲜于斌;熊紫兰;龚维维;刘金辉;陈凯;;放电参数及周围空气对大气压氦气等离子体射流长度的影响[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
7 钱沐杨;范倩倩;任春生;王德真;;双高压电极结构大气压氲等离子体射流放电特性研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
8 周振;陈强;刘福平;任兆杏;;可调亲、疏水性的SiO_x薄膜等离子体制备[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
9 王森;乐沛思;李果;李和平;包成玉;;射频大气压介质阻挡放电等离子体特性的实验研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
10 谷建龙;张芝涛;殷燕;;强电离高速流经放电区气体的实验研究[A];中国物理学会静电专业委员会第十三届学术年会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘莉莹;大气压射频Ar/H_2/SiCl_4等离子体射流实验诊断及其沉积硅薄膜研究[D];大连理工大学;2011年
2 唐正霞;铝诱导多晶硅薄膜的制备、性能及生长机理研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 程诚;大气压射流冷等离子体的产生和特性研究[D];中国科学技术大学;2006年
4 庄娟;大气压高频辉光混合气体放电数值模拟[D];大连理工大学;2011年
5 江中和;大气压沿面辉光放电的理论与实验研究[D];华中科技大学;2004年
6 张芝涛;大气压窄间隙DBD等离子体源与应用基础研究[D];大连海事大学;2003年
7 张宇翔;太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究[D];郑州大学;2005年
8 钱沐杨;预电离双高压电极大气压冷等离子体射流实验研究[D];大连理工大学;2011年
9 王达望;新型大气压放电等离子体发生器及其在甲烷偶联方面的应用研究[D];大连理工大学;2006年
10 欧阳亮;碰撞等离子体的产生及其性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 冯岩;大气压大尺度等离子体射流研究[D];大连理工大学;2010年
2 刘小虎;大气压等离子体射流及其灭菌研究[D];东华大学;2012年
3 魏国东;大气压双阳极DBD氩冷等离子体射流特性研究[D];大连理工大学;2011年
4 李斌;大气压下射频等离子体放电的实验研究[D];北京印刷学院;2010年
5 孙姣;一种新型的DBD大气压低温等离子体射流[D];大连理工大学;2005年
6 张杰;大气压射频辉光放电中放电稳定性研究[D];东华大学;2010年
7 郭海波;脉冲等离子体产生及其射流膨胀过程实验研究与数值计算[D];南京理工大学;2005年
8 陈海力;制备工艺对铝诱导多晶硅薄膜性能影响的研究[D];南京航空航天大学;2011年
9 朱明;等离子体辅助磁控溅射制备多晶硅薄膜[D];大连理工大学;2012年
10 张良艳;金属诱导多晶硅薄膜制备与研究[D];电子科技大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 沈季 记者 张兆军;200万大气压金属钠变“透明”[N];科技日报;2009年
2 民勤县大滩中学 孟海燕;如何培养物理兴趣[N];甘肃日报;2010年
3 本报记者 覃泽文;氢气金属化能源潜力无限[N];中国能源报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978