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磁探针测量电磁场与等离子体相互作用

陈志鹏  张晓伟  李弘  
【摘要】:在射频放电等离子体的广泛应用下,射频电磁场作为产生等离子体的能量来源,其与等离子体相互作用成为重要基础和有趣问题。单环磁探针和微分磁探针能够方便的直接测量到电磁场与等离子体相互作用区域的电磁场信号,包括其幅度和相位。并且根据经典电磁场理论和等离子体碰撞模型能够得到等离子体中产生的感应电流,等离子体密度和电子与中性粒子的碰撞频率。本文主要介绍单环磁探针和微分磁探针结构和测量方法,给出多种放电参数下的测量和分析结果,描绘出电磁场与等离子体相互作用的能流图像以及低频电磁场在等离子体中的传播,最后将结果与静电双探针测量结果进行简单对比。

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