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真空紫外单光子电离质谱在等离子体诊断中的应用

周忠岳  张奎文  谢铭丰  齐飞  
【摘要】:正等离子体加工作为一门新兴的技术,是当前国际上一个重要而活跃的前沿领域,是21世纪产业和科学技术的重要基础.介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge),因其设备结构简单、放电均匀稳定、能耗低、电子平均能量高等优点,成为目前产生低温等离子体的重要途径,已被开发和广泛的应用。氟代烷烃介质阻挡放电产生的低温等离子体

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