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发射光谱Stark展宽法同时测量高气压放电氢等离子体的电子密度和电场强度

吴利峰  马志斌  
【摘要】:正等离子体作为一种由大量微观粒子组成的热力学体系,其中热运动和电磁作用过程共存,描述其热力学性质的物理量—温度就表现出相当的复杂性。为了研究等离子体中的基元物理一化学过程以及改进等离子体工艺流程,有必要对其中的各种参数进行测量。一般的测量方法有探针法、质谱法和光谱法。而对于非平衡等离子体高气压放电,探针测量理论已不再适用,质谱法虽然其测量的

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