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大气压射频辉光放电氩等离子体射流的光谱特性研究

李果  王森  乐沛思  李和平  包成玉  
【摘要】:正同大气压介质阻挡放电等离子体源相比,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器产生大气压非平衡气体放电等离子体能够在较低的击穿电压下获得均匀的辉光放电,而且由于电极表面(或两电极间)无介质层存在,从而使得气体放电的工作电流通常较相同情况下的介质阻挡放电工作电流高,放电区活性粒子浓度亦较高。对于采用裸

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