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矩形表面波等离子体源的数值模拟

刘繁  汪建华  
【摘要】:随着太阳能电池,半导体晶片超微细加工等领域的迅速发展,迫切需要发展大面积均匀等离子体源。与其他类型的微波等离子体源相比,表面波等离子具有许多无可比拟的优点:无需ECR等离子体那样的磁场,结构简单;不存在平板型等离子体那样因电极插入而导致的杂质污染问题;便于产生截止密度以上的高密度等离子体;用小尺度的开口天线,就可以通过表面的传播实现等离子体的的大口径化。目前报导的腔体结构既有圆柱体结构也有矩形腔体结构。本文主要介绍了矩形腔体的表面波等离子体源及对其进行模拟。

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