收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究

张弘  戴忠玲  王友年  
【摘要】:正等离子体刻蚀工艺在微电子、新材料、航天、精密机加工等领域都有着重要的应用,是许多高科技产品关键零组件的核心加工技术,特别是目前等离子体刻蚀技术已成为微电机系统制造的关键技术。在超大规模集成电路的生产工艺中,利用等离子体刻蚀技术可以实现高刻蚀速率、低能量损

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张彬;刘小民;;一种保持界面位置不动的水平集函数隐式重新初始化方法[J];计算物理;2011年05期
2 沈葹;;国际化学年的物理学思考[J];世界科学;2011年06期
3 潘伟雄;夏云菊;高森泉;朱起明;;“原位”红外光谱实验方法及其应用[J];实验技术与管理;1984年01期
4 俞希跃;刘刚;常振旗;李文杰;周杰;田扬超;;聚合物核壳结构微球的同步辐射显微表征研究[J];中国科学技术大学学报;2011年06期
5 乔生莉;;烷基化反应的机理与影响因素[J];科技情报开发与经济;2011年18期
6 刘淑坤;李占良;孙宁宁;;晶体硅缺陷的腐蚀及表征[J];中国石油和化工标准与质量;2011年08期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张弘;戴忠玲;王友年;;基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 敬闰宇;孙婧;李梦龙;;使用改进的水平集方法对数据进行分类[A];中国化学会第28届学术年会第14分会场摘要集[C];2012年
3 代晓青;曾竟成;肖加余;江大志;邢素丽;;水平集方法模拟反应性树脂体系一维流动界面[A];复合材料:创新与可持续发展(下册)[C];2010年
4 王一波;胡仲翔;姚耀;;基于水平集的激光条纹提取方法[A];2009全国虚拟仪器大会论文集(一)[C];2009年
5 王斐;赵杰煜;;基于多重网格的水平集图像分割方法[A];第十四届全国图象图形学学术会议论文集[C];2008年
6 陆道惠;陈德文;王素华;;甲基紫精与醇类间的光电子转移和光反应过程[A];第九届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];1996年
7 方宇强;戴斌;宋金泽;单恩忠;;基于光流和水平集的运动目标分割方法研究[A];2009年中国智能自动化会议论文集(第三分册)[C];2009年
8 李芳;赵应声;雷爱文;刘买利;;钯催化反应的~(13)C NMR定量研究[A];第十五届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];2008年
9 田昊;杨剑;李国辉;;基于变分水平集的遥感影像建筑物检测[A];第18届全国多媒体学术会议(NCMT2009)、第5届全国人机交互学术会议(CHCI2009)、第5届全国普适计算学术会议(PCC2009)论文集[C];2009年
10 宫欣;苑锋;;结构拓扑优化中水平集方法的改进[A];山东土木建筑学会建筑结构专业委员会2008年学术年会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘箐;水平集方法在预混合湍流V型火焰模拟和形状复原问题上的应用[D];浙江大学;2010年
2 林颖;基于水平集方法的图像分割关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 葛全文;ICF中流体不稳定性的数值模拟研究与Hamilton-Jacobi方程的运动网格方法[D];中国工程物理研究院;2003年
4 王斌;图像分割的提升水平集方法[D];西安电子科技大学;2010年
5 陆成刚;基于微分方程的若干图像分析论题研究[D];浙江大学;2003年
6 梅玉林;拓扑优化的水平集方法及其在刚性结构、柔性机构和材料设计中的应用[D];大连理工大学;2003年
7 王洪元;图像动态分析中的若干智能化方法研究[D];南京理工大学;2004年
8 贾海朋;结构与柔性机构拓扑优化[D];大连理工大学;2005年
9 朱国普;基于活动轮廓模型的图像分割[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 吴继明;基于水平集方法的主动轮廓模型理论研究及其应用[D];华南理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郑志成;基于Level Set方法的散乱数据曲面重建[D];大连理工大学;2005年
2 王超逸;水平集方法在连续体结构拓扑优化问题中的运用和发展[D];长安大学;2008年
3 王俊芳;基于水平集方法的瑞利噪声医学图像分割[D];青岛大学;2008年
4 严佳炜;具有间断解的计算机层析成像中的若干问题[D];复旦大学;2010年
5 徐子森;多相图像分割与基于先验形状的图像分割的变分水平集方法[D];青岛大学;2007年
6 王锦霞;用PDE的方法分割和填补图像[D];汕头大学;2006年
7 裴明;两类基于水平集方法的分割模型[D];河南大学;2008年
8 谭蓉;基于主动轮廓模型的图像分割与配准同步方法研究[D];长沙理工大学;2008年
9 张海青;基于水平集方法的高斯噪声图像的三维分割[D];青岛大学;2008年
10 王建步;错觉轮廓及缺失边界修复[D];中国石油大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 李冰;液体燃料合成取得突破[N];中国矿业报;2005年
2 应礼文(中国大百科全书出版社编审);化学创造新世界(下)[N];中国教育报;2002年
3 河南 常齐军;关于电动车的电池[N];电子报;2004年
4 李辉;电池:成长最慢的“器官”[N];中国计算机报;2002年
5 山西煤炭管理干部学院 刘翎;关于分析化学历史发展的哲学思考[N];山西科技报;2003年
6 ;我国通用智能化学反应控制技术获重大突破[N];中国机电日报;2002年
7 张传晓;钾肥工业难题破了[N];中国化工报;2001年
8 本报记者 翁朝健;要提高学生运用知识能力[N];海南日报;2000年
9 索金龙;活用质量守恒巧解计算题[N];山西科技报;2003年
10 李毅民;煎药机能否煎出放心药[N];中国消费者报;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978