双频容性耦合等离子体源中化学活性气体放电特性的研究

【摘要】：正各向异性刻蚀一直是半导体工业中的一项核心技术,工由于反应性等离子体具有很高的化学活性,用于刻蚀工艺的化学活性气体,在等离子体源中经电离后,可以产生具有很高化学活性的离子和自由基团,这些化学活性粒子很容易与极板上的基材发生化学反应,在刻蚀中扮演着重要的角色,

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中国期刊全文数据库

前20条

1	陆全康;相对论BBGKY方程链[J];复旦学报(自然科学版);1993年04期
2	孟月东;钟少锋;熊新阳;;低温等离子体技术应用研究进展[J];物理;2006年02期
3	付亚波;张跃飞;张广秋;高原;王建忠;隗晓云;;辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断[J];真空科学与技术学报;2006年02期
4	邱励俭;;爱因斯坦与核能——解读A．Einstein伟大的预见E=mc~2[J];力学与实践;2005年06期
5	孙健;白敏冬;毛程奇;白希尧;;单极性带电粒子浓度测试方法的研究[J];物理学报;2007年07期
6	张弘;何斌;王建国;;等离子体中重离子碰撞过程的理论研究[J];原子与分子物理学报;2007年S1期
7	谢亚红;胡纯栋;刘胜;盛鹏;宋士花;;基于静电探针测量对双潘宁离子源的弧特性研究[J];核电子学与探测技术;2007年06期
8	李沛;刘文正;李成柳;严伟;;辉光放电等离子体灭菌技术的研究[J];微计算机信息;2009年05期
9	章海锋;刘少斌;孔祥鲲;;TM模式下二维非磁化等离子体光子晶体的禁带调制特性分析[J];物理学报;2011年05期
10	陈开云;胡纯栋;刘胜;李军;韩筱璞;刘智民;;NBI双潘宁离子源参数的静电探针测量[J];核电子学与探测技术;2006年04期
11	姚波;包成玉;何也熙;;光谱法测量托卡马克等离子体[J];光谱学与光谱分析;2006年08期
12	王凯;李正宏;陈法新;徐荣昆;王玲;;单丝Z-Pinch等离子体Thomson散射诊断系统设计[J];核电子学与探测技术;2009年01期
13	章海锋;刘少斌;孔祥鲲;;横磁模式下二维非磁化等离子体光子晶体的线缺陷特性研究[J];物理学报;2011年02期
14	江超;王又青;;一种用于小型激光器的新颖放电结构的放电性质研究[J];量子电子学报;2007年01期
15	叶凡;李正宏;薛飞彪;秦义;徐荣昆;金永杰;;Z箍缩等离子体高分辨X辐射谱诊断[J];强激光与粒子束;2009年02期
16	皮小力;孙甫照;郝东山;;多光子非线性Compton散射对等离子体中颗粒成长的影响[J];核聚变与等离子体物理;2011年01期
17	王骐,张杉杉,卢兴发,夏元钦,陈德应;光场电离类镍氪等离子体参数研究[J];光学学报;1999年02期
18	李海婴;微波ECR等离子体参数测量及分析[J];哈尔滨师范大学自然科学学报;2001年01期
19	戴忠玲;毛明;王友年;;等离子体刻蚀工艺的物理基础[J];物理;2006年08期
20	何湘;陈建平;倪晓武;吴莹;陈玉东;曾小军;秦海潮;;雷达隐身等离子体参数优化设计[J];南京理工大学学报(自然科学版);2010年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王帅;;双频容性耦合等离子体源中化学活性气体放电特性的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2	余耀伟;胡建生;赵燕平;高翔;;EAST等离子体运行间隔放电清洗的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3	马锦秀;王道泳;李毅人;瞿涛;张文贵;郑尧邦;;等离子体中热阴极发射情况下的鞘层结构问题[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
4	陈强;桑利军;杨丽珍;刘忠伟;王正铎;;ECR等离子体辅助原子层沉积氧化铝形貌和结构的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
5	曹金祥;张嘉祥;凌永顺;;研究等离子体密度变化的毫米波测量系统[A];1993年全国微波会议论文集（下册）[C];1993年
6	刘晓菊;屈一至;肖炳甲;王建国;;类Ne金离子的双电子复合过程及其对等离子体电离平衡和辐射能量的影响[A];第十五届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2009年
7	唐平瀛;戴晶怡;谈效华;向伟;石磊;;离子源研究中的光谱诊断[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
8	李斌;陈强;;氩气大气压射频介质阻挡放电实验研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
9	刘秋艳;陈志鹏;刘琴;李弘;;碰撞等离子体中的连续谱诊断[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
10	蓝可;常铁强;冯庭桂;张兴宏;黄天暄;;纳秒基频激光产生Al等离子体电子温度与离子布居的诊断[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	赵国伟;柱形等离子体天线的基本原理、天线中谐波与非线性效应研究[D];中国科学院研究生院（空间科学与应用研究中心）;2007年
2	汪磊;等离子体薄膜表面制造中的偏压效应研究[D];中国科学技术大学;2008年
3	王哲斌;激光聚变等离子体Thomson散射诊断[D];中国科学技术大学;2006年
4	李阳芳;非均匀（尘埃）等离子体中离子声波的激发和传播[D];中国科学技术大学;2006年
5	谢锦林;磁化等离子体低频不稳定性研究及激光诱导荧光诊断[D];中国科学技术大学;2008年
6	唐力铁;燃烧驱动DF/HF化学激光器压力恢复若干问题研究[D];国防科学技术大学;2005年
7	王中平;高压下几种有机分子晶体的相变和光学性质的研究[D];中国科学技术大学;2006年
8	欧阳亮;碰撞等离子体的产生及其性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
9	袁强华;双频容性耦合等离子体特性的实验研究[D];苏州大学;2009年
10	张志红;几个典型微观反应体系的准经典轨线计算[D];大连理工大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李斌;聚酰亚胺（PI）绝缘薄膜材料的低温等离子体表面改性研究[D];华中科技大学;2007年
2	徐杰;柱形表面波等离子体基本参数诊断研究[D];中国科学院研究生院（空间科学与应用研究中心）;2007年
3	刘力玮;电子回旋共振等离子体的数值研究[D];大连理工大学;2008年
4	路璐;等离子体光子晶体的FDTD分析[D];南京航空航天大学;2008年
5	郑永国;等离子体电磁散射特性的研究[D];西安电子科技大学;2008年
6	邹彬;空心阴极放电特性的研究[D];东华大学;2008年
7	袁璐琦;等离子体环境下模板制备纳米点阵的理论研究[D];上海交通大学;2008年
8	郭爱波;氧化锌薄膜的PE-CVD制备及应用[D];华中科技大学;2007年
9	麻冰欣;辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究[D];大连理工大学;2008年
10	蓝加平;直流脉冲等离子体时间演化过程的研究[D];中南民族大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者　李陈续　通讯员　胡胜友;我科学家在单分子选键化学研究领域获重大进展[N];光明日报;2005年
2	记者李新龙通讯员蔡怡春;中科院打开微观观察世界之门[N];湖北日报;2008年
3	;合作中的超导托卡马克[N];光明日报;2000年
4	霍裕平;最终解决人类能源问题的课题[N];科技日报;2002年
5	中国科学院化学研究所副研究员张武寿;冷聚变挑战传统核反应理论[N];光明日报;2008年
6	记者葛进　陈超;日开发铁系超导材料简易制作法[N];科技日报;2009年
7	李山;用阿秒激光脉冲“追赶”分子内的电子[N];科技日报;2010年
8	刘霞;首次观测到电子飞离原子过程[N];科技日报;2010年
9	常丽君;激光驱动电子运动可绘制原子全息图[N];科技日报;2011年
10	顾琅中国科学院力学研究所研究人员;等离子体与人类何干?[N];大众科技报;2011年

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