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在玻璃基底上沉积大面积功能性薄膜

牛金海  于乃森  冯志庆  刘东平  
【摘要】:正介质阻挡放电,亦称无声放电,是一种可在高气压,特别是大气压下产生等离子体的一种放电形式。介质阻挡放电从臭氧产生,材料表面改性到制备大屏幕等离子显示器,高功率单色光源,CO_2激光器等均有重要应用。目前对于介质阻挡放电的基础和应用研究,

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