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大面积均匀矩形表面波等离子体源的实验研究

刘明海  陈兆权  唐亮  胡鹏  江中和  胡希伟  菅井秀郎  
【摘要】:正近年来,作为新一代的表面波等离子体源在刻蚀,薄膜制备、材料表面改性等微电子工业中的应用引起了广泛的研究,目前的主要焦点是大面积均匀且放电高效稳定。本文介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,采用商业软件(MAFIA、CST)结合三维的FDTD自编程序,

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