收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

高脉冲功率磁控溅射电源及放电特性研究

田修波  吴忠振  巩春志  杨士勤  
【摘要】:正高脉冲功率磁控溅射(HPPMS)技术是最近发展起来的一种新型磁控溅射技术。由于在高功率脉冲期间,溅射粒子离化率很高,有时可达70-80%,因此HPPMS模式制备的膜层致密、性能优良,HPPMS可以被看做为"无大颗粒"的阴极弧技术,受到国外很多

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 邹俭;王川;郑侠;曾乃工;张天爵;姜兴东;;紧凑型X-pinch装置探头标定[J];强激光与粒子束;2011年06期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 田修波;吴忠振;巩春志;杨士勤;;高脉冲功率磁控溅射电源及放电特性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 ;首届全国脉冲功率会议成功召开[A];中国工程物理研究院科技年报(2010年版)[C];2011年
3 田修波;吴忠振;巩春志;杨士勤;;高功率脉冲磁控溅射技术——灵活的薄膜技术[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4 计策;曹文彬;丰树平;;PSPICE在脉冲功率装置设计中的应用[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
5 孟志鹏;张自成;杨汉武;钱宝良;;半导体开关在脉冲功率技术中的应用[A];第三届全国粒子加速器技术学术交流会论文集[C];2007年
6 叶龙春;缪正强;杨军;熊旭亚;;西安脉冲反应堆脉冲功率热中子探测的时间延迟研究[A];第九届全国固体核径迹学术研讨会论文集[C];2007年
7 尚超;余岳辉;陈学川;彭亚斌;;脉冲功率开关RSD通态压降的研究[A];2008中国电工技术学会电力电子学会第十一届学术年会论文摘要集[C];2008年
8 吴刚;张秀红;;八毫米大功率脉冲行波管技术研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集(下)[C];2001年
9 于伟东;廖家轩;夏立芳;柳襄怀;王曦;;磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年
10 周羽生;郭芳;戴陶珍;李敬东;唐跃进;;超导电感储能高功率脉冲技术及其仿真研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王冬冬;大功率固态开关在脉冲功率应用中的特性研究[D];复旦大学;2011年
2 周羽生;高温超导脉冲功率应用电磁特性的基础研究[D];华中科技大学;2006年
3 魏斌;MOV在低温环境下的电气特性及应用研究[D];华中科技大学;2007年
4 何安;Z箍缩喷气负载的理论和实验研究[D];四川大学;2006年
5 冯晓辉;磁绝缘无损形成过程的理论研究[D];中国工程物理研究院;2009年
6 赵莹;外加磁场POS机理的PIC模拟和装置研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
7 杨汉武;爆炸磁压缩发生器及其脉冲功率调制研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
8 贺元吉;爆电能源高功率超宽带脉冲发生器研究[D];国防科学技术大学;2001年
9 程东明;无铝半导体激光器列阵及其组装技术的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
10 夏胜国;脉冲消融毛细管放电等离子体的理论和实验研究[D];华中科技大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邱剑;高重复频率快脉冲功率源的研制[D];华中科技大学;2007年
2 伍友成;电爆金属丝产生纳米金属氧化物粉末的研究[D];中国工程物理研究院;2005年
3 周圣;神光Ⅲ能源模块开关系统的研究[D];华中科技大学;2007年
4 闫军凯;三级传输线高压脉冲发生器的研究[D];国防科学技术大学;2006年
5 吴异凡;基于全固态器件串并联技术的脉冲功率电源[D];华中科技大学;2007年
6 贾建平;介质阻挡放电等离子体灭菌消毒实验研究[D];华中科技大学;2007年
7 陈楠;高温超导磁储能脉冲放电装置研究[D];华中科技大学;2008年
8 李亚维;重复频率脉冲电源测试诊断技术研究[D];中国工程物理研究院;2009年
9 李新建;脉冲峰值与连续波中功率计自动校准系统的研制[D];南京理工大学;2008年
10 闫强华;超导储能脉冲放电系统研究[D];西南交通大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 江苏 沈亦飞;大功率电磁灶调节功率的六种方式[N];电子报;2007年
2 本报专稿 沐阳;美国电磁炮五年计划欲终结火炮时代[N];世界报;2006年
3 石岩;博客“博”上方兴东[N];南方周末;2004年
4 中国消费者报 贾君;松下、首爱手机外包装不合格 被曝光[N];中国消费者报;2005年
5 江苏 沈亦飞 董强;电磁炉一个机心带多个感应加热线圈[N];电子报;2005年
6 广西 EFASHIONBOY;用Foobar 2000玩胆机音色[N];电脑报;2004年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978