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常压脉冲调制射频辉光等离子体研究

石建军  蔡叶青  魏卡亚  张菁  
【摘要】:正常压低温辉光等离子体由于不需要真空系统,使等离子体能方便的直接应用于在线工业生产,特别在新型功能材料的合成和表面处理、生物灭菌消毒和环境净化等领域都已经显示出其优越性。当前国内外都在致力于发展常压下新型低温辉光等离子体源技术并研究其的放电机理和放电特性,这将为常压低温等离子体的应用研究提高理论依据和技术支持,也成为等离子体研究领域的热点之一。

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