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薄膜热应力在线测量与分析

冯雪  董雪林  
【摘要】:薄膜材料与结构广泛应用于微电子、信息、航空航天等领域,在其制造和使用过程中,由于材料差异、镀膜条件、环境温度改变等情况产生的失配应变或温度载荷,薄膜材料中产生很大的应力,这些应力的产生导致薄膜发生破坏,同时也会极大地影响材料的电、磁、光、热等物理性能。

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