磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究

【摘要】：采用磁控溅射方法在Si基底上制备SiC薄膜,利用拉曼光谱分析了衬底温度和功率对SiC薄膜结构的影响。结果表明,薄膜中既含有晶型SiC又含有非晶型SiC,同时还含有石墨相和无定形碳。随着衬底温度的升高,SiC拉曼特征峰向低波数方向移动,薄膜晶粒尺寸减小,薄膜结晶程度提高。在衬底温度为室温条件下,功率对薄膜结构的影响较小。

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前20条

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2	罗庆洪;娄艳芝;李春志;陆永浩;;Ti—B—N纳米复合薄膜的制备及结构和力学性能[J];北京科技大学学报;2011年08期
3	余志强;谢泉;肖清泉;;Mg_2Si薄膜的磁控溅射制备及表征[J];材料导报;2011年12期
4	王元;蒋书文;陈湘亮;;Al_2O_3陶瓷基片上Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜可调介电性能的研究[J];功能材料;2011年S2期
5	黄佳木;郝晓培;鞠明祥;;TiN_x/SiO_2/Ag/SiO_2低辐射膜耐H_2S气体的腐蚀性能[J];材料保护;2011年06期
6	张俊双;叶勤;曾富强;王权康;;薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响[J];材料导报;2011年12期
7	莫超超;李长生;晋跃;廖东候;;磁控溅射制备TiWN/MoS_2薄膜及其微观结构和摩擦学性能研究[J];表面技术;2011年03期
8	刘梅;陈芳慧;王永红;张玉梅;李海波;;C底层厚度对FePt(001)织构生长的影响[J];兵器材料科学与工程;2011年04期
9	张玉梅;刘梅;于永生;王永红;李海波;费维栋;;FePt/Au多层膜的结构和磁性能研究[J];稀有金属材料与工程;2011年08期
10	徐礼;秦晓梅;;铝膜沉积温度对非晶硅薄膜晶化的影响[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
11	谢光明;;太阳能光热转换的核心材料——光谱选择性吸收涂层的研究与发展过程[J];新材料产业;2011年05期
12	冉广照;文杰;尤力平;徐万劲;;Ag纳米颗粒对富Ag二氧化硅薄膜电致发光谱的影响[J];光谱学与光谱分析;2011年09期
13	张海峰;张敏;阮圣平;孟凡旭;冯彩慧;徐洋;陈维友;张歆东;;Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2纳米薄膜的光电性能[J];高等学校化学学报;2011年08期
14	张官理;伍建华;霍钟祺;张晓锋;;丙烯酸树脂涂层对透明导电薄膜整体性能的影响[J];材料工程;2011年08期
15	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	祝元坤;朱嘉琦;韩杰才;陈娅冰;;磁控溅射制备SiC薄膜的拉曼特性研究[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集（上册）[C];2008年
2	姚吉升;唐三川;陈坚;王玺;周友元;黄军武;;ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
3	徐政;俞晓正;沈志刚;;用磁控溅射方法在空心微珠表面镀纳米铜膜的研究[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
4	刘艳涛;马剑平;;基于Atemga128的磁控溅射镀膜机(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
5	吴萌;黄佳木;郝晓培;;磁控溅射TaN_x/Ag/TaN_x低辐射复合膜的性能[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集（第二卷）[C];2011年
6	黎明锴;彭友贵;;氮化碳薄膜合成方法进展[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
7	梁建华;赵鹏冀;郝万立;施立群;;磁控溅射锆钒合金膜[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
8	姚为;吴爱萍;邹贵生;任家烈;;Ti表面磁控溅射Nb膜的研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
9	季雅静;秦会斌;叶丽云;;NiFe层厚度对薄膜磁阻性能的影响[A];浙江省电子学会2006年学术年会论文集[C];2006年
10	林晶;刘壮;孙智慧;高德;;负偏压对PET上磁控溅射氧化铝薄膜的影响[A];中国真空学会2008学术年会论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

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1	魏艳君;磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究[D];燕山大学;2010年
2	常学森;基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜及其亲水特性研究[D];东北大学;2007年
3	张磊;辐照损伤材料的实验模拟研究：含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为[D];复旦大学;2011年
4	吴文娟;极紫外和软X射线窄带多层膜的研究[D];同济大学;2007年
5	李竹影;WO_3薄膜及器件的电致变色性能研究[D];华中科技大学;2005年
6	刘超卓;含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究[D];复旦大学;2007年
7	许旻;氧化钒薄膜结构和性能研究[D];兰州大学;2006年
8	周玉锋;反应烧结碳化硅基底致密层制备及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
9	万红;TbDyFe薄膜的磁致伸缩性能及其与弹性、压电衬底复合效应研究[D];国防科学技术大学;2005年
10	刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院（合肥物质科学研究院）;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王凤丹;玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究[D];合肥工业大学;2005年
2	张晔;钢基SiC耐磨薄膜制备研究[D];江苏大学;2005年
3	王强;VLSI工艺中铝互连与蚀刻的研究[D];电子科技大学;2005年
4	何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
5	杜永胜;全钙钛矿结构磁性隧道结的制备与性能研究[D];北京工业大学;2005年
6	黄伟霞;Mg_xZn_（1-x）O透明导电薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2006年
7	张世权;磁控溅射法制备二氧化钛半导体薄膜的光致催化和亲水特性研究[D];兰州大学;2006年
8	高坤;近等原子比TiNi合金薄膜的制备与马氏体相变机理的研究[D];西安理工大学;2006年
9	秦丽霞;氨化硅基磁控溅射Ga_2O_3/Co薄膜制备GaN纳米结构和薄膜的研究[D];山东师范大学;2008年
10	张明伟;基于高频声表面波滤波器的AlN/金刚石多层膜制备研究[D];天津理工大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	南开大学物理学院陶长远刘达清;碳化硅薄膜很优秀[N];科技日报;2002年
2	中国建材技术装备总公司高级工程师孙廷祥;防眩光是汽车膜最重要的性能[N];中国消费者报;2004年
3	信息产业部电子信息产品管理司王勃华;技术水平不断提高部分产品有所突破[N];中国电子报;2001年
4	本报记者孙颖;北仪创新：真空龙头[N];中国企业报;2010年
5	王桂兰杨春莉;强生膜推出高端建筑陶瓷膜[N];中国建材报;2010年
6	;大型多晶硅片加速碳化硅器件的发展[N];中国电子报;2001年
7	本报记者武孝军　实习生肖枚;殷志强来衡讲授“太阳能”[N];衡阳日报;2009年
8	记者李明娟;亿元以上投资项目达57个[N];甘肃经济日报;2009年
9	记者张立君;中科纳米：自清洁玻璃产业化先锋[N];中国建材报;2004年
10	记者陈雅君;清华阳光打造中国可再生能源利用新形象[N];中国信息报;2003年

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