收藏本站
收藏 | 论文排版

衬底温度对磁控溅射硅薄膜结构性能的影响

田桂  朱嘉琦  韩杰才  贾泽纯  姜春竹  
【摘要】:采用磁控溅射镀膜技术,在不同衬底温度下沉积硅薄膜,利用拉曼(Raman)散射谱、X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对薄膜微结构的影响,并对其结果进行分析讨论。研究结果表明,随着衬底温度的升高,表征薄膜微结构的晶粒尺寸和晶化率呈现相似的变化规律:当衬底温度较低时,随着温度的升高,硅膜的晶粒尺寸和晶化率增加;当衬底温度超过120℃时,随着温度的进一步升高,薄膜的晶粒尺寸和晶化率都开始降低。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 聂东林,杨丽颖,韩伟强;衬底温度对纳米硅薄膜结构性能的影响[J];青岛化工学院学报;1996年04期
2 王照奎,林璇英,林揆训,邱桂明,祝祖送,黄锐,魏俊红;SiCl_4-H_2沉积多晶硅薄膜过程中放电功率的影响[J];汕头大学学报(自然科学版);2004年04期
3 张国炳,郝一龙,田大宇,刘诗美,王铁松,武国英;多晶硅薄膜应力特性研究[J];半导体学报;1999年06期
4 陈岚,梁焕珍,李锐星,喻克宁,徐菊,白辰东;计算机在点阵常数确定中的应用[J];计算机与应用化学;2002年03期
5 何宇亮,余明斌,胡根友,张蔷;一种纳米硅薄膜的传导机制[J];物理学报;1997年08期
6 张静全,陈世国;硅氢薄膜的制备和结构[J];贵州师范大学学报(自然科学版);1999年02期
7 于威,侯海虹,何杰,王华英,傅广生;HWP-CVD氮化硅薄膜的结构和光学特性[J];无机材料学报;2004年04期
8 郝会颖,孔光临,曾湘波,许颖,刁宏伟,廖显伯;非晶/微晶相变域硅薄膜及其太阳能电池[J];物理学报;2005年07期
9 张丽伟;张松青;卢景霄;杨仕娥;文书堂;杨根;郭学军;李瑞;;低温制备硅薄膜的晶粒尺寸研究[J];可再生能源;2006年06期
10 陈晓峰,刘忠礼,王红斌,郑志坚;测量等离子体辐射温度的XRD膜吸收法[J];强激光与粒子束;1991年02期
11 陈松林,赵北君,朱世富,马平,胡建平,胡江川;氧分压对电子束蒸发ZrO_2薄膜微结构的影响[J];四川大学学报(自然科学版);2004年04期
12 万明芳,魏希文,何宇亮;纳米硅簿膜制备工艺的研究[J];大连理工大学学报;1995年06期
13 吴建华;一种新型砂轮的X射线衍射分析[J];中国胶粘剂;2000年05期
14 刘湘娜,王路春,佟嵩,鲍希茂,眭云霞,韩世莹,金通政;光致发光纳米晶粒硅薄膜的电子自旋共振研究[J];半导体学报;1995年06期
15 方炎;第十五届国际拉曼光谱会议报告综述——物理学方面[J];光散射学报;1996年03期
16 南景宇;;红外光谱与拉曼光谱产生机理的比较——双原子分子的情形[J];物理通报;2002年07期
17 曹小龙,李清山,王清涛,张利宁;纳米硅薄膜/多孔氧化铝复合体系光致发光的温度特性[J];发光学报;2004年06期
18 朱忠丽,曾繁明,葛建军,张建军,万玉春,刘景和;Yb:NaY(WO_4)_2晶体生长及性能研究[J];材料科学与工程学报;2005年01期
19 赵朋,李晓,张仲;硅酸镓镧晶体的Raman光谱分析[J];光谱实验室;2005年06期
20 高淑琴;贺家宁;李荣福;左剑;李兆凯;曹彪;里佐威;;四氯化碳费米共振的拉曼光谱研究[J];光谱学与光谱分析;2007年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 田桂;朱嘉琦;韩杰才;贾泽纯;姜春竹;;衬底温度对磁控溅射硅薄膜结构性能的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(上册)[C];2008年
2 李现常;李伟;沈爱国;周晓东;莫育俊;胡继明;;单个金属原子和胞嘧啶分子复合物的拉曼光谱研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
3 王翔;徐倩;冯兆池;李灿;;Ga_2O_3相变的紫外拉曼光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
4 闫新蕾;刘相波;郭蕾;王辉;戴守愚;;Mn掺杂的ZnO陶瓷拉曼光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
5 汪磊;尤静林;王媛媛;马兰;赵婷;;Ca_2P_2O_7温致相变的拉曼光谱研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
6 崔雯;姚明光;李全军;刘然;刘德弟;刘冰冰;;压力作用下C_(60)(Fc)_2的拉曼光谱研究[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
7 陈长青;李云涛;齐健;张建民;唐伟跃;;X射线和~(60)Co γ射线辐照食管癌细胞的拉曼光谱研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
8 ;程序册[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
9 侯碧辉;菅彦珍;王雅丽;张尔攀;汪力;钟任斌;;PbB_4O_7晶体的太赫兹光谱和拉曼光谱[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
10 张兰;马会中;李会军;杨仕娥;姚宁;胡欢陵;张兵临;;碳氮膜的一种新的拉曼光谱结构[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 叶剑;Mn掺杂Ⅳ族稀磁半导体的X射线吸收谱学研究[D];中国科学技术大学;2009年
2 姜泳;Si基稀磁半导体的X射线吸收谱学研究[D];中国科学技术大学;2009年
3 张磊;辐照损伤材料的实验模拟研究:含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为[D];复旦大学;2011年
4 蔡红星;基于金纳米棒的DTTC分子表面增强拉曼散射研究及应用[D];长春理工大学;2011年
5 吴文娟;极紫外和软X射线窄带多层膜的研究[D];同济大学;2007年
6 江美福;反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的结构和性能研究[D];苏州大学;2005年
7 刘超卓;含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究[D];复旦大学;2007年
8 高玲玲;环烷烃的高压研究[D];吉林大学;2008年
9 张留洋;溶剂和电子转移对费米共振的影响[D];吉林大学;2008年
10 许旻;氧化钒薄膜结构和性能研究[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘天飞;PbWO_4晶体拉曼光谱的研究[D];北京工业大学;2000年
2 管思阳;乙醇—水溶液的拉曼光谱与分子结构分析研究[D];南京理工大学;2010年
3 李成彧;β-胡萝卜素在液芯光纤中的共振吸收拉曼散射[D];长春理工大学;2010年
4 许昆鹏;ABO_3型碲基氧化物的高压原位研究[D];吉林大学;2011年
5 彭亚茹;硫酸铅的高压研究[D];吉林大学;2008年
6 郭丽;用多元分析方法研究乳腺癌血清的SERS光谱[D];大连理工大学;2011年
7 卢振伟;硅基氧化钨薄膜的制备及其性质研究[D];烟台大学;2009年
8 关丽秀;P型氧化锌薄膜的制备和性能[D];吉林大学;2006年
9 刘启鑫;单壁碳纳米管的ACCVD法制备及碳纳米管等富勒烯材料的拉曼光谱研究[D];首都师范大学;2006年
10 姬亚玲;激光辐照聚合物材料改性研究[D];北京工业大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978