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硅生长过程中磁场对流场及提拉速率的影响

邓谷雨  陈启生  
【摘要】:正通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomenaprogram)程序模拟了工业8in单晶硅生长过程。数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长

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