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MEMS微悬臂梁键合强度的测试技术

郇勇  张泰华  杨业敏  
【摘要】:正键合是MEMS加工工艺中常见的连接方法,键合强度决定着MEMS器件的可靠性。多年来,设计人员只能凭借经验估计键合结构的尺寸。因此,迫切需要发展相关测试技术对键合强度进行表征。

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