收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

大面积薄膜物理气相沉积中真空均匀辐射加热器的优化设计

李帅辉  舒勇华  刘宏立  谢冲  唐锦荣  樊菁  
【摘要】:正 大面积薄膜物理气相沉积中,基片温度的均匀性是制备工艺中的关键问题之一。本文研究了真空辐射加热中影响基片温度均匀性的几个关键因素。首先考虑加热器表面热辐射物理参数和加热丝材料的选取的影响。然后通过解耦基片与加热器表面之间的真空辐射能量输运,利用有限差分方法和面元法,数值计算了各表面的温度场和辐射热流场。根据数值模拟结果,给出了加热丝位置的优

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 吴霞;张锐;张而耕;;物理气相沉积涂层冲头开裂原因的失效分析[J];机械制造;2011年04期
2 李莉平;;TiN类膜制备工艺的研究进展及应用[J];产业与科技论坛;2011年04期
3 海辰;;辉门引以为傲的发动机技术(二)[J];汽车与配件;2011年39期
4 王金发;宋学全;张珂禹;;精密复杂高速钢刀具涂层技术分析[J];机械工程师;2011年07期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李帅辉;舒勇华;刘宏立;谢冲;唐锦荣;樊菁;;大面积薄膜物理气相沉积中真空均匀辐射加热器的优化设计[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(下)[C];2005年
2 张政军;;物理气相沉积制备纳米结构薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
3 韩高荣;汪建勋;;CVD大面积薄膜制备技术及新型镀膜玻璃开发[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 周耐根;周浪;朱圣龙;;斜入射对物理气相沉积铜膜结构的影响[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
5 单英春;赫晓东;李明伟;李垚;史丽萍;;PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6 雷平水;史伟民;郭燕明;邱永华;潘美军;;PVD法制备多晶碘化汞膜的光电特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
7 潘国顺;邵天敏;王义民;;物理气相沉积TiN涂层的抗空蚀性能研究[A];第五届全国青年摩擦学学术会议论文集[C];1999年
8 刘雄英;黄光周;于继荣;;原子层沉积技术及其应用[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
9 高陇桥;;BeO瓷的金属化和封接[A];特种陶瓷及金属封接技术基础和应用研讨会论文集[C];2005年
10 高玉周;张会臣;王亮;;物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(二)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 陈利;Ti-Al-N基硬质涂层的热稳定性能、微结构及其力学、切削性能的研究[D];中南大学;2009年
2 何博;钛合金表面热障涂层的制备与研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈新;大面积薄膜材料等离子体处理关键技术的研究[D];苏州大学;2012年
2 钱文富;基于低温表面改性技术提高齿轮传动副性能的研究[D];重庆大学;2005年
3 杨少敏;“渗氮/PVD TiN、(Ti,Ce)N、(Ti,Cr)N、(Ti,Cr,Ce)N、CrN”复合涂层的合成及表征[D];广东工业大学;2006年
4 李晓波;烟火推进剂的设计及其产物的环境特性研究[D];南京理工大学;2008年
5 袁瑞建;一维苝类衍生物微纳结构的可控制备及性质研究[D];河南大学;2012年
6 林肖;镍薄膜厚度均匀性的优化及其对器件电学性能的影响[D];天津大学;2012年
7 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
8 邱月兰;钢混结构腐蚀监测用全固态参比电极的EB-PVD制备与性能表征[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 刘伟杰;维持IC生产中TiSi_2工艺稳定性的研究[D];天津大学;2010年
10 贾永锐;脉冲激光沉积法制备大面积Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜的研究[D];湘潭大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 李治国;太阳能发电技术实现新突破[N];经济日报;2009年
2 ;形成电磁波干扰遮蔽膜的方法[N];中国有色金属报;2002年
3 本报记者 顾定槐;太阳能发电有望告别“天价”[N];中国化工报;2009年
4 张扬;我国将开发薄膜太阳能电池成套技术设备[N];中国建材报;2009年
5 ;日本新能源技术开发近况[N];中国矿业报;2003年
6 薛群基 陈建敏;固体润滑材料[N];光明日报;2000年
7 ;关注触摸屏等新应用市场[N];中国电子报;2009年
8 记者 艾贤;在粤院士又增两名[N];广东科技报;2009年
9 记者 吴栋梁;把握大趋势 加快新能源产业发展[N];温州日报;2009年
10 记者 王春;我太阳能光伏发电可望商业化[N];科技日报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978