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芯片上的气象站

黄庆安  
【摘要】:正 首先给出了我们实验室提出的芯片上的气象站概念。芯片上的气象站是可以检测环境温度、湿度、气压、风速、风向等气象参数的一种集成系统。其次,介绍了实现芯片上的气象站的技术路径-CMOS MEMS技术。再次,给出了我们实验室采用CMOS MEMS技术实现的温度、湿度、气压、风速、

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