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薄膜型超磁致伸缩微致动器的动力响应

孙乐  乔力  刘信恩  郑晓静  
【摘要】:正 薄膜型超磁致伸缩微致动器由于结构简单,非接触驱动,容易实现微型化,特别适合于MEMS,目前已被广泛用于微阀门(微泵)、线性超声微马达、微行走机械等各类执行器,控制器。为此,需要对薄膜型超磁致伸缩微致动器的力学响应给予尽可能准确的预测。由于超磁致伸缩材料不仅其磁致伸缩和磁化与应力和外加磁场呈非线性,而且具有极为复杂的力-磁耦合特性,特别是在交变磁

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