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薄膜测试的微桥技术

张统一  李剑荣  
【摘要】:总结了测试薄膜力学性能的微桥技术,分析了基底变形对测量物理量的影响.采用线性弹簧模型表征基底变形,并通过量纲分析和有限元计算给出弹簧系数的表达式,建立了微桥测试的理论基础,即薄膜微桥的大变形挠度-载荷公式.利用微桥技术成功地测量了Si3N4薄膜和SiO2薄膜的弹性模量和残余应力.

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