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压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能

罗皓  杨芝茵  周益春  郑学军  
【摘要】:采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜,用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点弯实验,动态的观察了薄膜变形断裂过程。

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