压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能

罗皓杨芝茵周益春郑学军

【摘要】：采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜,用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点弯实验,动态的观察了薄膜变形断裂过程。

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前20条

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2	夏明祥;王传彬;公衍生;沈强;张联盟;;脉冲激光沉积技术制备IrO_2薄膜的研究[J];稀有金属材料与工程;2006年05期
3	赵子文;胡礼中;张贺秋;孙景昌;刘维峰;骆英民;霍炳至;;衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的光学和电学特性的影响[J];人工晶体学报;2007年01期
4	赵丹;朱俊;罗文博;魏贤华;李言荣;;脉冲激光沉积制备立方AlN薄膜的研究[J];功能材料;2007年07期
5	刘耀东;苗树森;韩曼迪;;ZnO薄膜的脉冲激光沉积及性能研究[J];金属热处理;2008年05期
6	张金平;;PLD制备DLC的研究进展[J];重庆科技学院学报(自然科学版);2009年03期
7	郑立荣，陈逸清，许华平，辛火平，宋世庚，林成鲁;Pb（Zr_（0．52）Ti_（0．48））O_3铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积[J];功能材料与器件学报;1995年02期
8	纠智先;李强;;射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点[J];武汉工业学院学报;2006年03期
9	薛明喆,傅正文;脉冲激光沉积LiFePO_4阴极薄膜材料及其电化学性能[J];物理化学学报;2005年07期
10	符春林;潘复生;蔡苇;邓小玲;;脉冲激光沉积制备铁电薄膜材料研究进展[J];激光杂志;2008年04期
11	雷洁红;邢丕峰;唐永建;吴卫东;王锋;;脉冲激光沉积氢化锂薄膜(英文)[J];材料工程;2009年S2期
12	赵胜利;文九巴;樊丽梅;秦启宗;;脉冲激光沉积技术制备薄膜锂电池[J];功能材料;2006年02期
13	俞丹;卢意飞;戴祝萍;孙剑;吴嘉达;;离子束辅助脉冲激光沉积硼碳氮薄膜[J];功能材料与器件学报;2007年02期
14	张麟;潘仕荣;刘毅;黄展云;陈弟虎;;激光脉冲能量对四面体非晶碳薄膜的结构及血液相容性的影响[J];功能材料;2008年03期
15	刘毅;林晓东;张磊;张麟;陈弟虎;;脉冲激光沉积制备类金刚石薄膜的结构和光学性质[J];材料科学与工程学报;2008年03期
16	纠智先;李强;;沉积温度对制备ZnS薄膜的影响[J];武汉工业学院学报;2008年02期
17	王丽;石敏;周国庆;左如忠;许育东;苏海林;伍光;于桂洋;于涛;;2-2型磁电复合薄膜材料研究现状[J];金属功能材料;2010年06期
18	唐有守;魏慧卿;李峰;;凝固浴对PAN原丝性能的影响[J];炭素技术;2011年05期
19	司马凯;张立新;陈学文;;某高燃速丁羟推进剂配方研究[J];江西化工;2011年03期
20	杨明波;秦财源;潘复生;;热处理对Mg-3Sn-1Mn镁合金组织和性能的影响(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年10期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	罗皓;杨芝茵;周益春;郑学军;;压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
2	王金龙;郑明毅;王晓军;邓坤坤;胡小石;吴昆;;ECAP变形对SiCp/AZ91镁基复合材料组织与性能的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集（下册）[C];2008年
3	王云祥;邓菡;陈曙光;周一林;;冷轧压下率对连续退火Ti-IF钢力学性能的影响[A];2009年全国冷轧板带生产技术交流会论文集[C];2009年
4	黎良青;蒋正武;;稻壳灰在混凝土中应用研究进展评述[A];中国混凝土进展2010[C];2010年
5	刘家满;赵敏;董尚利;杨德庄;吴昆;;热循环对挤压态SiC_w/AZ91镁基复合材料力学性能的影响[A];复合材料：生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
6	郑锡涛;郭稳学;盛国柱;肖娟;李野;;三维编织复合材料力学性能试验研究[A];复合材料：生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
7	李锡武;郑子樵;李海;李世晨;钟俐苹;蒋呐;;1420铝锂合金力学性能的各向异性[A];第九届材料科学与合金加工学术会议专刊论文集[C];2004年
8	承建军;李军军;庄启昕;吴平平;韩哲文;;PBO纤维热处理的研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
9	张坤玉;庄宇钢;韩立晶;冉祥海;董丽松;;氯醚橡胶增韧改性聚乳酸力学性能的研究[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集（下册）[C];2007年
10	宋红梅;胡锦程;季思凯;吴玮巍;江来珠;;宝钢双相不锈钢2205的研制[A];2007中国钢铁年会论文集[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	卫爱丽;稀土元素对Zn-25 Al-5 Mg-2.5 Si合金组织和力学性能的影响[D];太原理工大学;2010年
2	倪牟翠;用脉冲激光沉积制备SrTiO_3/Nb：SrTiO_3异质结及其光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
3	陈嵩;EB-PVD制备Y_2O_3弥散增强Ni基合金薄板的组织及力学性能[D];哈尔滨工业大学;2010年
4	张双燕;化学成分对木材细胞壁力学性能影响的研究[D];中国林业科学研究院;2011年
5	于晓东;重型静压推力轴承力学性能及油膜态数值模拟研究[D];东北林业大学;2007年
6	熊国宣;水泥基复合吸波材料[D];南京工业大学;2005年
7	杨萌;钢纤维高强混凝土增强、增韧机理及基于韧性的设计方法研究[D];大连理工大学;2006年
8	王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
9	朱亮;力学性能失配焊接接头的强度及变形行为[D];兰州理工大学;2005年
10	唐骥;球墨铸铁铜金属型铸造工艺和性能的研究[D];东北大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	訾振发;纳米ZnO的制备、微结构及其特性的研究[D];安徽大学;2004年
2	张灿云;常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究[D];湘潭大学;2003年
3	陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
4	陈达;PLD制备类金刚石薄膜及其发光特性研究[D];曲阜师范大学;2006年
5	刘玫;脉冲激光沉积（PLD）半导体材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2006年
6	段滨;脉冲激光沉积制备SrTiO_3薄膜的介电性质研究[D];电子科技大学;2005年
7	晏锦辉;脉冲激光沉积法制备硅基掺Mn硅酸锌薄膜[D];浙江大学;2006年
8	吕珂;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其结构和发光特性分析[D];江西师范大学;2006年
9	张熹;千赫兹飞秒脉冲激光制备类金刚石薄膜研究[D];华中科技大学;2006年
10	许士才;β-FeSi_2半导体薄膜的制备及性能的研究[D];山东师范大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	晨;具有均匀尺寸和力学性能的薄宽热轧带钢[N];世界金属导报;2004年
2	刘友存;热轧带钢力学性能在线预测系统简介[N];中国冶金报;2007年
3	记者徐彦泓;国家建材五金水暖测试中心加强扣件检测[N];中国建材报;2006年
4	田建强王建国;劣质窗一推就开[N];中国质量报;2007年
5	张跃进;热轧带钢力学性能预报模型在线应用[N];世界金属导报;2006年
6	;跟踪国际潮流推广使用耐蚀性能更好、力学性能更高双相不锈钢[N];世界金属导报;2006年
7	郑彩云;新型医用钛合金发展前景广阔[N];中国有色金属报;2006年
8	;热轧带钢力学性能在线监控系统（待续）[N];世界金属导报;2001年
9	唐诗全郑之旺;攀钢冷轧1号热镀锌线连退机组顺利投产[N];世界金属导报;2007年
10	;上海市场抽查39种儿童家具两成不合格[N];消费日报;2008年

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