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静电场中柔性结构的变形研究

张为斌  方竞  
【摘要】:本文探讨了MEMS技术的一个基本问题:柔性结构在静电场作用下的变形问题。用边界元方法(BEM)求解静电场问题,结合有限元方法(FEM)来求解这种机电耦合问题。结合典型问题给出了数值模拟结果。

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