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《第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)》2010年
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原子光刻中激光准直52Cr原子束研究

焦晓光  石春英  殷聪  钱进  
【摘要】:原子束准直度是原子光刻的关键参数之一,实验采用激光冷却技术对52Cr原子束进行横向冷却获得高准直度原子束。在分析原子光刻系统结构的基础上,重点研究了一维多普勒冷却技术,对激光准直进行受力分析。结果表明:在光强远小于饱和光强的条件下,驻波场可以代替两束对射的激光,为实验提供了理论依据;并得出弱场条件下多普勒冷却机制激光最佳失谐量为-2.5MHz(铬原子的自然线宽为5MHz)。在激光失谐为-2.5MHz,功率为20mW的条件下进行实验,经过激光准直,原子束的准直度明显提高。
【作者单位】:中国计量科学研究院
【基金】:国家科技支撑计划(AZC0708)
【分类号】:TN249

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