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脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究

杨雪  程勇  郭延龙  王会升  王淑云  朱孟真  米朝伟  
【摘要】:对于大面积光学薄膜,膜厚均匀性会严重影响其整体光学特性。因此,寻求制备大面积、最佳膜厚均匀性薄膜的实验方法,成为脉冲激光沉积法制备薄膜的一个重要研究方向。本文在前人对脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜的研究基础上,提出了离轴旋转平移法并自编程序进行了计算机辅助仿真分析,最后进行了实验测试。仿真结果与测试结果吻合的很好,并测试发现直径为80mm膜层的不均匀度低于2%。

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