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掺硅类金刚石膜的研究进展

郭延龙  王淑云  杨雪  朱孟真  程勇  王会升  
【摘要】:掺硅类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的很多性能。在DLC膜中掺硅不仅可以减小膜的内应力,还可以显著提高附着力、耐磨性、sp3键含量、光学带隙宽度、热稳定性、耐腐蚀性等。对含氢和无氢掺硅DLC膜的进展都进行了概括及分析,对其发展趋势进行了展望。

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