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《2008年激光探测、制导与对抗技术研讨会论文集》2008年
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波长延伸(1.7~2.7μm)InGaAs高速光电探测器的研制

张永刚  顾溢  王凯  李成  李爱珍  郑燕兰  
【摘要】:采用气态源分子束外延方法和化合物半导体工艺研制了波长延伸的InGaAs探测器,其室温下的截止波长已由1.7μm拓展至2.7μm。对此探测器系列的特性进行了细致的测量表征,结果表明此类探测器十分适合在室温条件下工作,且在热电制冷温度下其性能可大为改观。瞬态特性测量结果表明此探测器系列可在高速下工作,实测响应速度已达数十ps量级,可以满足此波段激光雷达等方面的需要。

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