收藏本站
《2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集》2007年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪

张贵彦  袁宏韬  缪同群  
【摘要】:运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14~0.19nm 之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143nm 均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14~0.18nm 之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 孔祥贵,冯铁荪,金国藩;稳频激光陀螺中闭锁阈值的变化[J];中国激光;1992年10期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 汤建勋;机械抖动激光陀螺抖动偏频系统的研究与设计[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 岳钦崟;杨伟锋;洪津;张运杰;龚平;;利用积分球实现可调照度漫射定标检测光源[J];大气与环境光学学报;2007年02期
2 黄丽俐;许红梅;顾小超;杨志文;;积分球式微光源的蒙特卡罗模拟[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年02期
3 廖金焰 ,姚永年 ,扬定国;基于单片机的光谱反射率试验台[J];自动化与仪器仪表;2004年06期
4 蔡轶珩;沈兰荪;刘长江;;新型中医舌象分析仪关键技术研究[J];电子学报;2006年04期
5 胡子臣;;8~14μ透镜透过率测量装置[J];红外与激光工程;1985年04期
6 杨开勇,龙兴武,刘照世,付文羽;超光滑基片表面均方根粗糙度的测量[J];应用激光;1999年06期
7 叶家福;;可见-近红外积分球绝对光谱辐射率定标[J];红外与毫米波学报;1985年02期
8 蔡轶珩,刘长江,沈兰荪;新型舌象分析仪的设计方案[J];测控技术;2005年05期
9 刘亚侠;;TDI CCD相机实验室辐射定标的研究[J];光电工程;2007年05期
10 郑玉;周汉昌;王高;;基于CCD相机的光纤器件透过率测试[J];传感器与微系统;2007年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张贵彦;袁宏韬;缪同群;;光学表面粗糙度的全积分测量法研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
2 张贵彦;袁宏韬;缪同群;;一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
3 王振宝;杨鹏翎;冯国斌;邵碧波;张磊;朱金辉;;用于高能激光功率取样测量的积分球单元[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
4 魏荣;李唐;边风刚;吕德胜;周善钰;王育竹;;上海光机所冷原子钟研究的进展[A];2005年全国时间频率学术交流会文集[C];2005年
5 张鑫;林家明;张哲;沙定国;;基于不等半径高均匀亮度的积分球照明技术研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
6 雷惠;白雁;张琳;龚芳;陈小燕;;分光光度计双口与四口积分球的对比测试[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
7 韩永辉;徐可欣;贺忠海;胡佑周;;单积分球测量牛奶光学参数[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
8 柏成玉;原遵东;董伟;;漫射样品光谱发射率间接测量装置[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
9 张磊;陆启生;李莉;;组合激光辐照CdS实验与耦合系数测量[A];第九届全国物理力学学术会议论文集[C];2009年
10 吕亮;吕正;;LED光度测量的难点及其分析[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 刘克谦;出版印刷用纸白度量值的国际接轨[N];中国包装报;2003年
2 王亚彬;包装材料透光性的测试与研究[N];中国包装报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 邢进;空间遥感仪器紫外—真空紫外光谱辐射标准及高精度辐射定标的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 许红梅;微光应力源系统研究[D];长春理工大学;2008年
3 崔燕;光谱成像仪定标技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2009年
4 李博;真空紫外光谱传输特性测试研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 王锐;紫外—真空紫外探测器定标技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
6 张永江;植物叶绿素荧光被动遥感探测及应用研究[D];浙江大学;2006年
7 朱宏殷;星上成像均匀性及实时自动调光的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周殿华;强快靶测量的理论分析与实验[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2000年
2 王震;紫外辐射通量的测量研究[D];浙江大学;2006年
3 李国龙;白度测量系统的设计和应用[D];吉林大学;2005年
4 王高明;微光应力系统研究[D];长春理工大学;2009年
5 胡敏;光纤传像器件参数测试研究[D];中北大学;2006年
6 黄丽俐;微光应力系统[D];长春理工大学;2008年
7 李安;基于等色温自动调光积分球光源的辐射定标研究[D];长春理工大学;2009年
8 肖颖;基于激光二极管光源的近红外水分仪的研制[D];江苏大学;2009年
9 吕笛;智能化白度测量系统设计[D];长春理工大学;2007年
10 王崇;CCD感光特性测试系统的研究[D];天津大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026