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基于纳米/微米VO_2红外探测器光电响应对比研究

何少伟  黄鹰  戴君  赖建军  王兴治  易新建  
【摘要】:新型纳米结构的二氧化钒(VO_2)热敏薄膜具有平均粒度为8nm 和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6%~7%/K。而通常用于非致冷红外探测器的 VO_2具有微米结构,粒度为1~2μm、 TCR 约为-2%/K。采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的 VO_2薄膜128元线列器件,并对两种器件的光电性能进行了对比研究。测试结果表明:基于纳米结构 VO_2的器件响应率较基于微米结构的 VO_2器件高近3倍,前者器件的探测性能较后者得到了明显的改善。

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