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平面型铟镓砷线列探测器的制备及伏安特性研究

吴小利  唐恒敬  张可峰  黄翌敏  韩冰  李雪  龚海梅  
【摘要】:通过闭管锌扩散制备了256元平面型铟镓砷(In_(0.53)Ga_(0.47)As)线列探测器,室温下焦平面平均峰值探测率为5.79×10~(11)cmHz~(1/2)W~(-1),不均匀性为31%,平均峰值响应率为0.33 A/W。并且通过拟合其伏安曲线得到了器件的理想因子和串联电阻,基于这两个相互独立的参数可以对器件不同区域的性质加以考查,结果表明器件材料具有较好的均匀性,而器件的欧姆接触电阻偏大,且不均匀性达到39%,为工艺的改进提供了重要依据。

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