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《2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)》2006年
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干涉显微镜测量小球面曲率半径

陈磊  仇智  
【摘要】:研究了一种由单幅静态干涉图测量球面曲率半径的方法。针对小曲率半径(R50mm)的球面,用林尼克干涉显微镜得到被测球面的静态干涉图。基于阻尼最小二乘法,拟合干涉条纹的光强曲线,得到被测小球面面形的多项式表达式,并由此计算出被测件的曲率半径。讨论了算法初值的选取方法,验证了算法精度并分析了误差因素。对比实验表明,本方法的与其他测试方法取得的结果相吻合。
【作者单位】:南京理工大学电光学院 南京理工大学电光学院
【分类号】:TH742

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前7条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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【相似文献】
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8 梁丽萍;利用空间载频外差干涉术在平面干涉仪上实现大曲率光学零件的检测[D];国防科学技术大学;2007年
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10 董珊;微透镜扫描器的研究[D];华中科技大学;2007年
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