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《粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集》2018年
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大功率溅射一步法制备的自调节Cu/CuO超疏水电极涂层

安小凯  吴忠振  刘亮亮  周林  唐伟  马正永  吴忠灿  Ricky KY Fu  田修波  林海  Paul K Chu  潘锋  
【摘要】:集成电路是现代工业中智能设备的基本组成部分,在其长期服役的过程中,腐蚀性环境下的电极和导线上的灰尘与腐蚀很容易引起短路或打火。本文介绍了一种超疏水Cu/CuO电极薄膜,该薄膜通过一步法大功率磁控溅射进行制备,并且在腐蚀环境中具有易清洁性和优异的耐腐蚀性。同时,我们研究了从Cu(200)到Cu(111)的择优取向的自调节过程以及在膜层大功率放电中生长梯度温度下表面微/纳米棒形貌的形成过程。通过在空气中暴露96小时后,表面Cu(111)被氧化成表面能更小CuO(111)取向,表现出卓越的超疏水性和可清洁性,接触角为152.5°,其与传统的Cu膜电极相比可在灰尘环境下进行更长时间的服役。此外,由于对腐蚀性液滴具有低粘附性和渗透性,所制备的薄膜显示出优异的耐腐蚀性。

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