收藏本站
《颗粒学前沿问题研讨会——暨第九届全国颗粒制备与处理研讨会论文集》2009年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

磁控溅射在空心微珠颗粒表面制备不同金属膜的研究

俞晓正  沈志刚  
【摘要】:利用磁控溅射方法,开展了在空心微珠表面镀金属Co、Ni、Cu和Ag膜的实验研究。通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等测试仪器,对空心微珠表面金属膜的表面形貌、薄膜厚度及表面粗糙度进行了测试和分析。实验与分析结果表明,由于金属Co、Ni、Cu和Ag的溅射率的差异(Y_(Co)Y_(Ni)Y_(Cu)Y_(Ag)),在相同溅射条件下,制备的四种不同金属膜具有不同的厚度,其表面粗糙度也不同,它们的增长趋势与溅射率的增长相同
【作者单位】:北京航空航天大学北京市粉体技术研究开发重点实验室
【分类号】:TB383.4

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 毛倩瑾,于彩霞,王群,张丰,葛凯勇,周美玲;空心微珠表面金属化及其电磁防护性能研究[J];北京工业大学学报;2003年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
2 陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋;PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析[J];半导体技术;2002年07期
3 张新亮,任雪斌,刘雪峰,黄德修;半导体光放大器增益饱和特性的研究[J];半导体技术;1997年06期
4 田民波,山田公;CO_2离化团束对Si基板表面的辐照效应[J];半导体学报;1997年04期
5 吉元,李英,钟涛兴,李志国,程尧海,孙英华,郭伟铃,朱红;SiO_2介质覆盖层对Al-Cu膜晶粒生长的影响[J];北京工业大学学报;1998年01期
6 谢光明,李金许,高汉三,尹万里;干涉型Al-N-O选择性吸收表面的研究[J];北京科技大学学报;2000年01期
7 欧毅,孙雨南,崔芳,崔健民;硅微机械F-P腔结构及电场的有限元分析[J];北京理工大学学报;2002年04期
8 谢光明,于凤勤;钨-氮化铝太阳能选择性吸收表面的研制[J];中国表面工程;1999年03期
9 程德刚,吕反修,黄志文,邱春正;气相沉积立方氮化硼薄膜的研究与发展状况[J];表面技术;1997年06期
10 夏章能,徐洁;AlN陶瓷化学镀法金属化机理[J];表面技术;1999年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 侯和峰;李春红;陈玉清;綦晓峰;徐丽丽;;低辐射镀膜玻璃[A];首届山东材料大会论文集(建筑材料篇)[C];2007年
2 孙喜莲;徐学科;邵建达;;铬过渡层对银膜的微结构、光学性质及附着力的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
3 袁振宇;徐东;蔡炳初;;镍钛形状记忆合金薄膜超弹性性能的研究[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
4 李朝升;王先平;方前锋;S.Veprek;李世直;;反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si_3N_4薄膜的 Young's 模量和内耗[A];第七届全国内耗学术会议论文集[C];2003年
5 王彩丽;邢波;;粉煤灰的表面改性研究现状与应用前景[A];2006中国非金属矿工业大会暨第九届全国非金属矿加工应用技术交流会论文专辑[C];2006年
6 王明珠;沈志刚;;粉煤灰空心微珠的高附加值应用研究[A];2005年全国粉体设备—技术—产品信息交流会暨纳米颗粒测试与标准培训班论文集[C];2005年
7 纪占敏;杜仕国;鲁彦玲;施冬梅;游毓聪;;填料填充型导电高分子研究进展[A];中国颗粒学会2006年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集[C];2006年
8 李寅彦;毛昌辉;杨志民;唐群;;退火处理对镀Ni微球/环氧树脂复合材料介电性能的影响[A];国际材料科学与工程学术研讨会论文集(下册)[C];2005年
9 莫继良;朱旻昊;安剑;雷斌;周仲荣;;物理气相沉积CrN涂层的研究进展[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
10 周美丽;胡立琼;张跃飞;陈强;葛袁静;;掺氮对类金刚石薄膜的力学性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
2 金应荣;硒化镉(CdSe)单晶体生长及其室温核辐射探测器[D];四川大学;2002年
3 杨斌;聚变堆第一壁保护涂层的制备研究[D];四川大学;2002年
4 宋利民;软X射线多层膜反射镜的设计与制作[D];大连理工大学;2002年
5 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
6 巩岩;掠射软X射线荧光分析技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 马慧媛;多金属氧酸盐多功能薄膜的制备和表征[D];东北师范大学;2004年
8 黄致新;SmTbCo系光磁混合记录薄膜结构与特性研究[D];华中科技大学;2004年
9 彭志坚;载能离子陶瓷刀具表面改性研究[D];清华大学;2004年
10 田宏伟;电荷有序锰氧化物Y_(0.5)Ca_(0.5)MnO_3的磁特性及穆斯堡尔谱研究[D];吉林大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄中梅;铁磁性空心粒子的制备与静磁性能研究[D];武汉理工大学;2005年
2 周慎平;用不同配比度的预烧粉末和陶瓷靶在Ag、Au、Pt底电极上溅射制取PZT铁电薄膜的研究[D];暨南大学;2000年
3 刘洪;插Si层的Pt/Co多层膜的结构、磁性和磁光特性的研究[D];首都师范大学;2001年
4 叶超;α-C:F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D];苏州大学;2001年
5 崔岩;Ti-Ni贮氢薄膜的电化学性能研究及测试系统设计[D];大连理工大学;2001年
6 张立;脉冲激光淀积法制备介电存储薄膜的研究[D];北京工业大学;2001年
7 刘立;纯铝/铝合金基底上SiO_x陶瓷膜层的CVD制备及其性能研究[D];浙江大学;2002年
8 姚振宇;聚变堆包层材料不同涂层的防氚渗透性能研究[D];中国原子能科学研究院;2001年
9 李茂登;立方氮化硼薄膜的射频溅射制备和半导体特性研究[D];北京工业大学;2002年
10 曹明德;用于高亮度发光二极管的布拉格反射器研究[D];华南师范大学;2002年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李勇;电磁辐射与电磁屏蔽涂料的应用[J];化学与粘合;2000年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈志刚;俞晓正;徐政;裴喜华;;微颗粒表面磁控溅射镀金属膜实验[J];北京航空航天大学学报;2006年10期
2 王明珠,沈志刚;粉煤灰空心微珠的高附加值应用研究[J];中国粉体技术;2005年01期
3 苑金生;粉煤灰空心微珠建筑板材[J];粉煤灰综合利用;1996年01期
4 全北平,徐宏,古宏晨,丁文江;粉煤灰空心微珠的研究与应用进展[J];化工矿物与加工;2003年11期
5 曾爱香,何小川,陈东初;空心微珠表面化学镀Ni-P合金镀层的研究[J];长沙理工大学学报;2004年Z1期
6 夏英,蹇锡高,马春,李健丰,王丽娟;无卤阻燃ABS/空心微珠复合材料的研究[J];塑料工业;2005年02期
7 吴炳尧,颜肖,龙华翔,李子全;空心微珠表面处理对发泡效果的影响[J];特种铸造及有色合金;1996年04期
8 陈克建;粉煤废渣中的宝物──空心微珠[J];中国建材;1996年07期
9 罗爱芹,牛桂玲,傅若农,孙玉芳,王显伦,金声;PGC 法研究空心微珠对高分子材料耐热性的影响[J];北京理工大学学报;1998年02期
10 杜玉成,黄坤良;空心微珠为基核的纳米隐形材料的制备研究[J];中国非金属矿工业导刊;2001年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐政;俞晓正;沈志刚;;用磁控溅射方法在空心微珠表面镀纳米铜膜的研究[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
2 俞晓正;沈志刚;;磁控溅射在空心微珠颗粒表面制备不同金属膜的研究[A];颗粒学前沿问题研讨会——暨第九届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2009年
3 徐政;俞晓正;蔡楚江;沈志刚;;空心微珠表面磁控溅射和化学镀金属膜的特性比较[A];中国颗粒学会2006年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集[C];2006年
4 姚吉升;唐三川;陈坚;王玺;周友元;黄军武;;ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
5 刘艳涛;马剑平;;基于Atemga128的磁控溅射镀膜机(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
6 吴萌;黄佳木;郝晓培;;磁控溅射TaN_x/Ag/TaN_x低辐射复合膜的性能[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
7 黎明锴;彭友贵;;氮化碳薄膜合成方法进展[A];第十一届全国核物理大会论文集[C];2000年
8 梁建华;赵鹏冀;郝万立;施立群;;磁控溅射锆钒合金膜[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
9 姚为;吴爱萍;邹贵生;任家烈;;Ti表面磁控溅射Nb膜的研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10 季雅静;秦会斌;叶丽云;;NiFe层厚度对薄膜磁阻性能的影响[A];浙江省电子学会2006年学术年会论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 何皖;纳米专家粉煤灰里能“选宝”[N];中国环境报;2004年
2 中国建材技术装备总公司高级工程师 孙廷祥;防眩光是汽车膜最重要的性能[N];中国消费者报;2004年
3 信息产业部电子信息产品管理司 王勃华;技术水平不断提高 部分产品有所突破[N];中国电子报;2001年
4 本报通讯员 熊和生;怎样结好这条产业链?[N];地质勘查导报;2007年
5 本报记者 孙颖;北仪创新:真空龙头[N];中国企业报;2010年
6 王桂兰 杨春莉;强生膜推出高端建筑陶瓷膜[N];中国建材报;2010年
7 李宝智;改性超细粉煤灰在橡胶制品中的应用[N];中国建材报;2004年
8 诺苏;醒来吧,沉睡的尾矿废石[N];中国国土资源报;2007年
9 本报记者 章一灵;西南最大新型建材生产线在清镇投产[N];贵阳日报;2006年
10 通讯员 李德高 陈学华 王振兴;广阳区提升自主创新能力加快工业化步伐[N];廊坊日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 俞晓正;微颗粒表面磁控溅射镀膜研究[D];北京航空航天大学;2008年
2 魏艳君;磁控溅射SiC薄膜制备及其场发射相关性能研究[D];燕山大学;2010年
3 常学森;基于磁控溅射方法制备二氧化钛薄膜及其亲水特性研究[D];东北大学;2007年
4 张磊;辐照损伤材料的实验模拟研究:含氦薄膜制备及MAX相材料离子辐照行为[D];复旦大学;2011年
5 曾爱香;空心微珠复合吸波材料的研究[D];华中科技大学;2004年
6 张建华;电流变材料的设计、研制及其流变和应用性能研究[D];上海大学;1999年
7 吴文娟;极紫外和软X射线窄带多层膜的研究[D];同济大学;2007年
8 李竹影;WO_3薄膜及器件的电致变色性能研究[D];华中科技大学;2005年
9 刘超卓;含氦钛膜的制备、表征及退火行为研究[D];复旦大学;2007年
10 许旻;氧化钒薄膜结构和性能研究[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王凤丹;玻璃基光刻铬掩膜板的膜系研究[D];合肥工业大学;2005年
2 王强;VLSI工艺中铝互连与蚀刻的研究[D];电子科技大学;2005年
3 何维凤;磁控溅射法制备ZnO透明导电薄膜组织与性能研究[D];江苏大学;2005年
4 杜永胜;全钙钛矿结构磁性隧道结的制备与性能研究[D];北京工业大学;2005年
5 黄伟霞;Mg_xZn_(1-x)O透明导电薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2006年
6 张世权;磁控溅射法制备二氧化钛半导体薄膜的光致催化和亲水特性研究[D];兰州大学;2006年
7 高坤;近等原子比TiNi合金薄膜的制备与马氏体相变机理的研究[D];西安理工大学;2006年
8 秦丽霞;氨化硅基磁控溅射Ga_2O_3/Co薄膜制备GaN纳米结构和薄膜的研究[D];山东师范大学;2008年
9 张明伟;基于高频声表面波滤波器的AlN/金刚石多层膜制备研究[D];天津理工大学;2008年
10 李小娟;SnO_2材料的第一性原理研究及其薄膜制备[D];燕山大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026